Журнал Компьютерра -728   ::   Компьютерра

Обычно для

получения опорной частоты используют чип

с резонатором, который представляет

собой маленькую пластинку из кварца или

другого пьезоэлектрического материала,

помещенную между обкладками

конденсатора. Геометрия пластинки

определяет частоту ее механических

колебаний, а связь с остальной

электронной схемой возникает благодаря

образованию зарядов на обкладках при

деформациях пьезоэлектрика. Стабильность

частоты и добротность таких резонаторов

хоть и снижается на высоких частотах,

все же на несколько порядков выше, чем у

других электронных колебательных

контуров.

Новый резонатор

представляет собой кремниевый брусок

8,5х40х2,5 мкм, разбитый на части парой

диэлектрических слоев из нитрида кремния

толщиной всего 15 нм. Механические

колебания в нем возбуждаются за счет

электростатических сил, вызванных

переменным напряжением на электродах.

Колебания порождают в бруске стоячие

ультразвуковые волны, похожие на

звуковые колебания во флейте или

органной трубе. Такие высокие частоты

ученым удалось получить благодаря

использованию твердого диэлектрика

вместо обычного воздушного зазора, а

снижения неизбежно возникающих при этом

потерь удалось добиться за счет

оптимального расположения слоев

диэлектрика. Кроме того, в качестве

резонансной используется девятая

гармоника продольных колебаний

бруска.