Журнал Компьютерра -753   ::   Компьютерра

Удалив затем химическим способом

блоки одного типа, можно получить на подложке полимерную маску и с помощью обычной литографии, травления и осаждения

изготавливать устройства с гораздо меньшими размерами, чем допускают современные технологии.

Все было бы хорошо,

но блочные сополимеры всегда самоорганизуются на подложке в похожую на соты гексагональную структуру, а вся технология

разработки и производства чипов рассчитана на прямоугольную сетку.

Теперь ученым, наконец, удалось подобрать

хитрый "сплав" из двух различных блочных сополимеров, части которых притягиваются друг к другу с помощью водородных

связей. В такой системе с помощью многостадийного процесса, включающего облучение ультрафиолетом и травление, удалось

добиться самоорганизации полимеров в строго упорядоченный прямоугольный массив с характерным шагом около 20 нанометров.

А это примерно вдвое меньше, чем позволяют достичь современные технологии массового производства чипов.

Теперь

ученые работают над получением прямоугольных полимерных масок сразу на большой площади подложки и над изготовлением

первых образцов чипов путем интеграции полимерной маски в традиционную фотолитографию. Экспериментаторы надеются, что в

случае успеха их метод примут на вооружение гранды полупроводниковой индустрии. ГА

Загадки

трения



Любопытные результаты получили физики из двух немецких

университетов при поддержке коллег из Йельского университета.