Журнал Компьютерра -757   ::   Компьютерра

Таким устройством может служить даже несколько щелей специальной формы в тонкомслое

хорошего проводника.

Но как поместить маску для нераспространяющихся волн всего в нескольких нанометрах от

кремниевой пластины с фоторезистом, диаметр которой 20–30 см? Разумеется, это практически невозможно. Зато в современных

винчестерах хорошо отработана технология головок, парящих на высоте нескольких десятков нанометров над быстро крутящимся

диском. Ученые из Беркли решили объединить и усовершенствовать два этих подхода.

В

качестве линз для нераспространяющихся волн были выбраны плазмонные линзы из нескольких концентрических кругов на тонком

слое серебра с отверстием посередине. Массив из шестнадцати таких линз закрепили на конце устройства, напоминающего

коромысло винчестера, и фокусировали на них луч ультрафиолета. В первых экспериментах скорость поверхности диска под

головкой достигала 12 м/с, а сама головка парила на высоте 20 нм над его поверхностью и рисовала штрихи толщиной 80 нм.

Это делает метод эффективнее альтернативных технологий вроде литографии электронным или ионным пучком. К тому же ничто

не мешает, уверены изобретатели, достигнуть разрешения 5–10 нм, довести число параллельно работающих линз до нескольких

тысяч и повысить скорость вращения диска.

Разумеется, придется подождать, пока такой "фотовинчестер" распишет

поверхность вращающейся кремниевой пластины рисунком для травления очередного слоя чипа.